超純氣、高純氣的分析測試是痕量分析學(xué)科的一個(gè)分支。它是研究氣體純度分析與其中痕量雜質(zhì)測定的一門(mén)范圍較窄但具有現實(shí)意義的專(zhuān)業(yè)學(xué)科。隨著(zhù)我國經(jīng)濟的高速發(fā)展，對高純氣不僅在數量上、質(zhì)量上、種類(lèi)上都不斷提出新的要求，而且對相應的國家標準、檢測理論、方法與檢測儀器的研究、研制與生產(chǎn)都提出了更高的要求。先進(jìn)的檢測儀器不僅能指導生產(chǎn)工藝的控制與改革，還能確保產(chǎn)品質(zhì)量、避免生產(chǎn)廠(chǎng)家與使用單位的糾紛。
       “超純氣體”一詞是在1964年全國超純氣體測試年會(huì )上定義的,即凡氣體純度達5個(gè)“9”（ 99.999%）以上，總雜質(zhì)為10x10-6V/V（即10ppm）以下的氣體皆屬“超純氣體范疇。但五十年的發(fā)展已經(jīng)改變了這一定義；已經(jīng)把5個(gè)“9”氣體稱(chēng)為高純氣，而稱(chēng)6個(gè)“9”以上純度氣體才為超純氣。純度大于99%以上的氣體純度分析都采用扣除雜質(zhì)的差減法計算，因而氣體純度分析實(shí)際是對氣體中微量或痕量的雜質(zhì)氣體檢測。因其檢測方法很多，本文不全面論述，僅對氣相色譜儀檢測雜質(zhì)氣體的現狀作一小結，并對某些概念上的認識提出看法。水分也是一種雜質(zhì)氣體，而且是極為特殊的、又無(wú)處不在的氣體雜質(zhì)，因檢測手段特殊，本文也不予論述。
      內容中提出的高純氣體分析中出現的“本底”、“最小檢測濃度”和“定量與誤差”，都是痕量分析中的理論問(wèn)題、也是實(shí)際問(wèn)題。這里不敘述理論的推導，但用理論解決問(wèn)題，主要就實(shí)際中的認識問(wèn)題重點(diǎn)論述，歡迎參加討論。
1、本底
   “本底”是指在色譜載氣中含有的被測雜質(zhì)氣體，配標準氣用底氣中含的被測雜質(zhì)氣；測試系統（載氣系統與樣品氣系統）帶來(lái)的或被漏入的（以氧、氮為主）該雜質(zhì)氣。大多數濃度型檢測器都要求本底值遠小于它的最小檢測濃度。當載氣中本底值大于樣品氣中某雜質(zhì)濃度時(shí)，該雜質(zhì)氣會(huì )出現“反峰”。配制標準氣的底氣要求就更嚴格了，否則本底值直接影響定量了。但是質(zhì)量檢測器（以火焰離子化檢測器為主的）是例外。我們在檢測氧中烴類(lèi)雜質(zhì)時(shí)發(fā)現，用純氮氣（4個(gè)“9”）作載氣（氫氣和空氣相同），也能檢測到0.1ppm的烴（一般國產(chǎn)色譜儀），乃至20—50ppm的烴雜質(zhì)氣。這是因為載氣中的雜質(zhì)（氧、氫、一氧化碳、二氧化碳FID上無(wú)響應，甲烷含量≤5ppm）因濃度不變，只能使檢測器（FID）產(chǎn)生一個(gè)相應穩定的“基流”，只要基數平衡、噪聲小，0.1ppm的烴類(lèi)雜質(zhì)氣仍舊可以在基線(xiàn)上出一個(gè)峰。氣相色譜定量規定，最小的檢測峰的判定：最小的峰峰高值是二倍于噪聲值。過(guò)去國產(chǎn)儀器只能檢測0.1ppm的烴是因為儀器的總噪聲值較高。只要將總噪聲值下降一個(gè)數量級，則最小檢測峰就會(huì )提高一個(gè)數量級。我公司的FID敏感度指標仍是Mt≤1×10-11g/s（正十六烷），和其它廠(chǎng)家的指標一樣，但總噪聲值低。因此，“氫焰型氣相色譜儀只能檢測與本底電流值相近”的說(shuō)法是缺乏根據的。而我們再利用濃縮法，使烴中乙炔檢測可以測到ppb級。
        本底值影響最大的是分析高純氣中氮和氧（空氣中的主要成分）。經(jīng)純化后的載氣如仍產(chǎn)生本底影響，其主要原因是漏氣產(chǎn)生的。管路中有接頭、閥、表等就不可避免會(huì )漏入空氣。我們只能控制一定漏量，使之不影響分析。也就說(shuō)“漏氣”是絕對的，“不漏”只是相對的。例如使用高純氬氣分析儀時(shí)，為保證分析純氣純度必須優(yōu)于6個(gè)“9”。我們將載氣凈化到7個(gè)“9”以上，留出一定“空間”，使“漏氣”后仍滿(mǎn)足分析要求。在高純氣體分析儀上不允許使用有機材料作密封（因為空氣中氮、氧能穿透有機材料滲透進(jìn)入系統中），包括各種橡膠，聚四氟乙烯等[27]；另外，還要盡量少用卡套。檢測時(shí)樣氣（標氣）流路也一樣存在漏氣問(wèn)題。我們已找到改變分析操作能判斷是否有漏氣方法，并能大致確定漏量大小。還有“在檢測<20ppb超低微量氣體成分時(shí)，不能采用紫銅及一般不銹鋼材料”的說(shuō)法也欠根據。氦離子化檢測器和電子捕獲檢測器都是能直接撿測ppb級的檢測器，在儀器上我們仍用一般紫銅與不銹鋼管作連接管與色譜柱，只是要將管內清洗和置換干凈就能滿(mǎn)足要求[27]。在校驗方法上，有人說(shuō)“市售瓶裝標準氣含量在1—20ppm內，使用這種濃度的標準氣去校驗1—20ppb濃度的含量數據，兩種數據大小相關(guān)1000倍，這是完全不合理的�！边@是外行批評內行的話(huà)！好象批評者能配出含量為1—20ppb的標準氣？因為很明顯目前還沒(méi)有人能得到純度為9個(gè)“9”的配標準氣的底氣�；�于目前只能配制出ppm級標準氣，第一底氣純度得到保證；第二個(gè)問(wèn)題是配氣誤差。只要查一下國家質(zhì)量技術(shù)監督局批準的一級[GBW]和二級[GBW（E）]氣體標準物質(zhì)（共300多種）[11]，就可知道氣瓶標氣最小配制濃度只能到1ppm。第三考慮到濃縮法能將ppb變?yōu)閜pm級和檢測器可以保證的線(xiàn)性范圍。因而用ppm的標準氣校驗ppb級就不足奇怪。理論與技術(shù)上的研究，在許多內容上都是使“不可能”“不合理”的事，讓它在一定條件下成為可能。
2、最小檢測濃度
       色譜檢測器最小檢測濃度取決于，一是檢測器的敏感度。敏感度愈高檢測器檢測的雜質(zhì)濃度愈低；二是色譜峰的峰寬愈�。ㄖ�效愈高），檢測雜質(zhì)氣濃度愈低。具體對于最小的峰峰高必須是噪聲的兩倍信號。任何色譜儀檢測器的最小檢測值就是最小檢測濃度。儀器操作者都應知道，低于此濃度的值（沒(méi)有出峰）不應是“0”，而應是小于最小檢測濃度值。理論上也認為只能接近于“0”,而不能等于“0”。對于連續監測的數字顯示儀所顯示的“0”也應這樣看，因為顯示不能表示出小于它最小檢測濃度的值來(lái)。因而所有儀器在檢測雜質(zhì)時(shí)，如果未能測出含量，則給報告中，該組分含量就應寫(xiě)出小于最小檢出濃度值，而不能寫(xiě)“0”。
3、定量與誤差
       每臺氣相色譜儀分析高純氣體必須做到有相應被測雜質(zhì)氣的敏感度和較好重復性。我們認為在保證上述條件和滿(mǎn)足本底要求條件下，儀器的定量誤差主要取決于標準氣的準確度（可靠性）。對于痕量成分重復測量的相對誤差往往比常量分析大的多。對0.1—10ppm濃度的檢測重復性（相對誤差），在10—20%的相對誤差也是較好的；PPT級的雜質(zhì)氣，可以允許有一個(gè)數量級之差。在定量方法上都采用了“外標法”，即使用標準氣校正。在實(shí)驗室可以做到用多種配制標準氣方法較正，能得到較高的可靠性。而在實(shí)際使用中難度很大，因此國家在標準氣的配制上要求是很?chē)栏竦?